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扩散硅传感器的特点你知道吗?

点击次数:138次  发布时间:2019-05-20
   扩散硅传感器的特点你知道吗?
  扩散硅传感器是利用压阻效应原理,采用集成工艺技术经过掺杂、扩散,沿单晶硅片上的特点晶向,制成应变电阻,构成惠斯凳电桥。利用硅材料的弹性力学特性,在同一切硅材料上进行各向异性微加工,就制成了一个集力敏与力电转换检测于一体的扩散硅传感器。
  用于水和液体的扩散硅传感器的应用之一是测量密封罐中的压力。该应用背后的理论相当华丽,水和液体的扩散硅传感器可以成为救世主。你知道一个密封的容器里有一层看不见的大气气体覆盖着容器里的液体吗?嗯,这层气体有一个称为蒸汽压的压力。由于积水的影响,水箱底部存在这种静水压力。当两者结合在一起时,扩散硅传感器就会出现问题。
  扩散硅传感器的特点:
  1、适合制作小量程的传感器
  硅芯片的这种力敏电阻的压阻效应在零点附近的低量程段无死区,制作压力传感器的量程可小到几个Kpa。
  2、输出灵敏度高
  硅应变电阻的灵敏因子比金属应变计高50~100倍,故相应的传感器的灵敏度就很高,一般量程输出为100mv左右。因此对接口电路无特殊要求,使用比较方便。
  3、精度高
  由于传感器的感受、敏感转换和检测三部分由同一个元件实现,没有中间转换环节,重复性和迟滞误差较小。由于单晶硅本身刚度很大,变形很小,保证了良好的线性。
  4、由于工作单性形变低至微应变数量级,弹性芯片最大位移在亚微米数量级,因而无磨损,无疲劳,无老化,寿命长达1×103压力循环,性能稳定,可靠性高。
  5、由于硅的优良化学防腐性能,即使是非隔离型的扩散硅压力传感器,也有相当程度的适应各种介质的能力。
  6、由于芯片采用集成工艺,又无传动部件,因此体积小,重量轻。
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